标题 |
Integrity of Micro-Hotplates During High-Temperature Operation Monitored by Digital Holographic Microscopy
用数字全息显微镜监测高温操作过程中微加热板的完整性
相关领域
材料科学
显微镜
变形(气象学)
纳米
数字全息显微术
纳米尺度
复合材料
表面完整性
结构完整性
电极
光学
纳米技术
化学
残余应力
工程类
物理化学
物理
结构工程
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DOI | |
其它 |
期刊:Journal of microelectromechanical systems 作者:Yiu Wai Lai; Nektarios Koukourakis; Nils C. Gerhardt; Martin R. Hofmann; Robert G. Meyer; et al 出版日期:2010-10-01 |
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