The impact of deposition and annealing temperature on the growth properties and surface passivation of silicon dioxide films obtained by atomic layer deposition

已关闭

文献求助详情

标题	The impact of deposition and annealing temperature on the growth properties and surface passivation of silicon dioxide films obtained by atomic layer deposition 沉积温度和退火温度对原子层沉积二氧化硅薄膜生长性能和表面钝化的影响相关领域钝化 X射线光电子能谱原子层沉积退火（玻璃）硅材料科学硅烷化学工程化学气相沉积分析化学（期刊）薄膜无机化学化学纳米技术图层（电子）冶金复合材料有机化学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2020.148889
DOI	10.1016/j.apsusc.2020.148889 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Jiahui Xu; Shizheng Li; Wenjing Zhang; Yan Shang; Cui Liu; et al 出版日期：2021-04-01
求助人	研友_LNVpvL 在 2024-02-23 14:53:36 发布自江苏，悬赏 10 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

求助 / 应助时间线

9个月前，求助关闭

研友_LNVpvL 求助人 Lv3 关闭了本次求助。

说明已找到【积分已退回】
9个月前

研友_LNVpvL 求助人 Lv3 发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 贺小刚发布了新的文献求助100

刚刚; 科研牛马完成签到，获得积分20

刚刚; 深情安青的应助被why采纳，获得10

2秒前; jiao完成签到，获得积分10

2秒前; SciGPT上传了应助文件

4秒前; 丘比特的应助被LD采纳，获得10

4秒前; 酷波er上传了应助文件

5秒前; 研友_VZG7GZ的应助被zzyfsh采纳，获得10

5秒前; Estrella的应助被阔达如凡采纳，获得10

6秒前; 热心的夜安完成签到，获得积分10

6秒前; wg发布了新的文献求助10

7秒前; 英俊的铭的应助被贺小刚采纳，获得30

8秒前; 梦旋完成签到，获得积分10

8秒前; 深情安青上传了应助文件

9秒前; 科研通AI2.0上传了应助文件

9秒前; 么么叽发布了新的文献求助10

11秒前; 不配.上传了应助文件

13秒前; Dr.c发布了新的文献求助10

13秒前; 852上传了应助文件

14秒前; dmsoli发布了新的文献求助10

17秒前; LANER完成签到，获得积分10

18秒前; 英姑的应助被IAMXC采纳，获得10

18秒前; GJL关注了科研通微信公众号

18秒前; 搜集达人的应助被Dr.c采纳，获得10

19秒前; Dr.Xu发布了新的文献求助10

19秒前; cach发布了新的文献求助10

20秒前; 是个小朋友啊的应助被武雨寒采纳，获得10

22秒前; 天天快乐的应助被wg采纳，获得10

22秒前; 潇洒的诗桃的应助被学术混子采纳，获得10

22秒前; 包容的初南完成签到，获得积分10

24秒前; 笑点低衬衫发布了新的文献求助10

24秒前; iNk上传了应助文件

25秒前; 汉堡包的应助被科研牛马采纳，获得10

27秒前; 许多多完成签到，获得积分10

27秒前; 燕海雪完成签到，获得积分10

28秒前; 龙之介完成签到，获得积分10

28秒前; 希望天下0贩的0的应助被娴儿采纳，获得10

29秒前; 科研通AI2.0上传了应助文件

29秒前; 李李发布了新的文献求助10

29秒前; 共享精神的应助被LUMEN采纳，获得10

29秒前