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 Self-stopping slurry for planarizing extremely high surface film topography in nanoscale semiconductor devices 用于纳米半导体器件极高表面膜形貌平坦化的自停止浆料
相关领域
化学机械平面化
抛光
材料科学
泥浆
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纳米
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纳米尺度
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半导体
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化学
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