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 Effect of Deposition Technique of SiNx Passivation Layer on the Electrical DC and RF Properties of AlGaN/GaN HEMTs SiNx钝化层沉积工艺对AlGaN/GaN HEMTs直流和射频特性的影响
相关领域
钝化
材料科学
高电子迁移率晶体管
光电子学
外延
等离子体增强化学气相沉积
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化学气相沉积
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期刊：Transactions on Electrical and Electronic Materials 作者：Yağmur Güler; Barış Onaylı; Mehmet Taha Haliloğlu; Doğan Yılmaz; T. Asar; et al 出版日期：2023-12-07 |
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