Effect of Deposition Technique of SiNx Passivation Layer on the Electrical DC and RF Properties of AlGaN/GaN HEMTs - 科研通

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标题	Effect of Deposition Technique of SiNx Passivation Layer on the Electrical DC and RF Properties of AlGaN/GaN HEMTs SiNx钝化层沉积工艺对AlGaN/GaN HEMTs直流和射频特性的影响相关领域钝化材料科学高电子迁移率晶体管光电子学外延等离子体增强化学气相沉积图层（电子）化学气相沉积晶体管氮化镓纳米技术电气工程电压工程类
网址	https://doi.org/10.1007/s42341-023-00492-2
DOI	10.1007/s42341-023-00492-2 doi
其它	期刊：Transactions on Electrical and Electronic Materials 作者：Yağmur Güler; Barış Onaylı; Mehmet Taha Haliloğlu; Doğan Yılmaz; T. Asar; et al 出版日期：2023-12-07
求助人	七秒在 2024-01-29 09:39:30 发布自湖南，悬赏 10 积分
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