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Global optimization of process parameters for low-temperature SiNx based on orthogonal experiments
基于正交试验的低温SiNx工艺参数全局优化
相关领域
材料科学
等离子体增强化学气相沉积
田口方法
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期刊:Advances in Manufacturing 作者:Lianqiao Yang; Chi Zhang; Wenlei Li; Guo-He Liu; Majiaqi Wu; et al 出版日期:2022-12-20 |
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