已入深夜,您辛苦了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整地填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!祝你早点完成任务,早点休息,好梦!

Global optimization of process parameters for low-temperature SiNx based on orthogonal experiments

材料科学 等离子体增强化学气相沉积 田口方法 残余应力 沉积(地质) 体积流量 工艺优化 氮化硅 化学气相沉积 复合材料 电子工程 光电子学 图层(电子) 工程类 机械 古生物学 物理 环境工程 生物 沉积物
作者
Lianqiao Yang,Chi Zhang,Wenlei Li,Guo-He Liu,Majiaqi Wu,Jinqiang Liu,Jianhua Zhang
出处
期刊:Advances in Manufacturing [Springer Nature]
卷期号:11 (2): 181-190 被引量:20
标识
DOI:10.1007/s40436-022-00423-z
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI

祝大家在新的一年里科研腾飞
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
有风的地方完成签到 ,获得积分10
刚刚
所所应助李鼎鼎采纳,获得10
6秒前
7秒前
beplayer1完成签到,获得积分10
7秒前
ly完成签到,获得积分10
11秒前
李子彤完成签到 ,获得积分20
14秒前
WittingGU完成签到,获得积分0
15秒前
15秒前
刘MX完成签到,获得积分10
15秒前
李健的小迷弟应助稿子哥采纳,获得10
16秒前
Akim应助啦啦啦啦采纳,获得10
16秒前
17秒前
cy0824完成签到 ,获得积分10
17秒前
18秒前
梦追阳完成签到 ,获得积分10
20秒前
美味cookies发布了新的文献求助10
20秒前
Dr发布了新的文献求助10
23秒前
25秒前
科研通AI6.2应助七七采纳,获得10
29秒前
WenxuanChen发布了新的文献求助10
29秒前
BINBIN完成签到 ,获得积分10
30秒前
无畏甜桃完成签到 ,获得积分10
31秒前
李木子完成签到 ,获得积分10
32秒前
lx发布了新的文献求助10
33秒前
单薄遥完成签到 ,获得积分10
33秒前
allen完成签到,获得积分10
34秒前
35秒前
西安浴日光能赵炜完成签到,获得积分10
36秒前
Jieh完成签到 ,获得积分10
36秒前
小飞侠完成签到,获得积分10
37秒前
wanci应助美味cookies采纳,获得10
38秒前
小翼应助儒雅的雪一采纳,获得10
38秒前
璐璐完成签到,获得积分10
40秒前
41秒前
why完成签到,获得积分10
50秒前
50秒前
欧克瑟完成签到 ,获得积分10
51秒前
落叶捎来讯息完成签到,获得积分10
51秒前
Owen应助夏侯夏侯采纳,获得10
52秒前
LYF000666完成签到,获得积分10
52秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Les Mantodea de guyane 2500
Signals, Systems, and Signal Processing 510
Discrete-Time Signals and Systems 510
《The Emergency Nursing High-Yield Guide》 (或简称为 Emergency Nursing High-Yield Essentials) 500
The Dance of Butch/Femme: The Complementarity and Autonomy of Lesbian Gender Identity 500
Differentiation Between Social Groups: Studies in the Social Psychology of Intergroup Relations 350
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 生物 医学 工程类 计算机科学 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 复合材料 内科学 化学工程 人工智能 催化作用 遗传学 数学 基因 量子力学 物理化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5880218
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 6569543
关于积分的说明 15689422
捐赠科研通 4999844
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2694079
邀请新用户注册赠送积分活动 1635900
关于科研通互助平台的介绍 1593332