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Global optimization of process parameters for low-temperature SiNx based on orthogonal experiments

材料科学 等离子体增强化学气相沉积 田口方法 残余应力 沉积（地质） 体积流量 工艺优化 氮化硅 化学气相沉积 复合材料 电子工程 光电子学 图层（电子） 工程类 机械 古生物学 物理 环境工程 生物 沉积物
作者
Lianqiao Yang,Chi Zhang,Wenlei Li,Guo-He Liu,Majiaqi Wu,Jinqiang Liu,Jianhua Zhang
出处
期刊：Advances in Manufacturing [Springer Nature]
日期：2022-12-20 卷期号：11 (2): 181-190 被引量：7
标识
DOI：10.1007/s40436-022-00423-z
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