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  Effects of Bias Voltage and Substrate Temperature on the Mechanical Properties and Oxidation Behavior of CrWSiN Films 偏压和衬底温度对CrWSiN薄膜力学性能和氧化行为的影响
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期刊：Coatings 作者：Li-Chun Chang; Chin-Han Tzeng; Tzu-Yu Ou; Yung-I Chen 出版日期：2023-09-24 |
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