Fabrication of solid-state nanopores with single-nanometre precision

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标题	Fabrication of solid-state nanopores with single-nanometre precision 单纳米级固体纳米孔的制备相关领域材料科学纳米技术硅纳米孔制作氧化硅电子束光刻蚀刻（微加工）透射电子显微镜纳米光电子学抵抗复合材料氮化硅替代医学病理医学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1038/nmat941
DOI	10.1038/nmat941 doi
其它	期刊：Nature Materials 作者：Arnold J. Storm; J. H. Chen; Xinsheng Ling; H.W. Zandbergen; Cees Dekker 出版日期：2003-07-11
求助人	素笺生花在 2025-03-10 14:49:25 发布自湖北，悬赏 10 积分
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