Enhancing Performance of Cross-Linking Negative-Tone Chemically Amplified Photoresists by Controlling Interfacial Interactions via Molecular Hydrophilicity Adjustment

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标题	Enhancing Performance of Cross-Linking Negative-Tone Chemically Amplified Photoresists by Controlling Interfacial Interactions via Molecular Hydrophilicity Adjustment 通过分子亲水性调节控制界面相互作用提高交联负性化学放大光致抗蚀剂的性能相关领域材料科学化学工程语调（文学）化学物理化学高分子化学艺术文学类工程类
网址	https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.4c03166
DOI	10.1021/acs.chemmater.4c03166 doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：Siliang Zhang; Xuewen Cui; Cong Xue; Yurui Wu; Xudong Guo; et al 出版日期：2025-02-27
求助人	ghn 在 2025-03-10 01:27:23 发布自新疆，悬赏 10 积分
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