Epitaxial lateral overgrowth of AlN on trench-patterned AlN layers

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标题	Epitaxial lateral overgrowth of AlN on trench-patterned AlN layers 沟槽图案化AlN层上AlN的外延横向过度生长相关领域外延材料科学位错沟槽光电子学沟槽（工程）金属有机气相外延复合材料图层（电子）冶金
网址	https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2006.10.043
DOI	10.1016/j.jcrysgro.2006.10.043 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Masataka Imura; Kiyotaka Nakano; Gou Narita; Naoki Fujimoto; Narihito Okada; et al 出版日期：2006-11-21
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