发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Effect of Using High-Pressure Gas Atmosphere with UV Photocatalysis on the CMP Characteristics of a 4H-SiC Substrate
高压气体气氛和紫外光催化对4H-SiC基片CMP特性的影响
相关领域
材料科学 X射线光电子能谱 碳化硅 硅 泥浆 光催化 化学工程 大气（单位） 基质（水族馆） 紫外线 光电子学 复合材料 催化作用 化学 有机化学 海洋学 物理 工程类 热力学 地质学
网址
https://doi.org/10.1149/2162-8777/abe7a8
DOI
10.1149/2162-8777/abe7a8 doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Tao Yin; Panpan Zhao; Toshiro Doi; Syuhei Kurokawa; Jinyun Jiang
出版日期：2021-02-01
求助人
5r 在 2025-03-10 15:36:15 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Preparation, characterization and activity evaluation of p–n junction photocatalyst p-ZnO/n-TiO2
  2. Photocatalysis: A novel approach to efficient demulsification
  3. The Assisted Excitations for Photocatalysis and Their Applications in Environment Treatments
  4. Understanding the Physics of Photocatalytic Phenomenon
  5. Surface Properties of Silicon Carbide Powders and Rheological Properties of Their Slurries
  6. The preparation characterization and activity evaluation of visible-light-driven photocatalyst Ag_3V...
  7. Preparation and photocatalytic activity of Fe~(3+)/Al~(3+)-TiO_2 composite photocatalyst and its the...
  8. THE PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF TiO_2 THIN FILM PHOTOCATALYST
  9. Underlayer Exposure Treatment of ZnO:Al-TiO_2 Coupled Film and Investigation to its Photocatalysis
  10. New approach of raising the process efficiency for the heterogeneous photocatalytic oxidation
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 3小时前

    烟花 烟花 Lv12 上传了文件

    待审核 Yin_2021_ECS_J._Solid_State_Sci._Technol._10_024010.pdf (1.4 MB)

  • 3小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    15:36:18 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    15:36:16 科研通AI机器人（新加坡）收到请求，开始寻找文献
    15:36:15 已向机器人发送请求

  • 3小时前

    5r 5r 求助人 Lv6 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
wguanmc发布了新的文献求助10
刚刚
刚刚
MIRROR完成签到，获得积分10
1秒前
1秒前
2秒前
爱笑夜蕾发布了新的文献求助10
3秒前
nnnnnn完成签到，获得积分10
5秒前
5秒前
小尧发布了新的文献求助50
5秒前
英俊的铭的应助被石绿海采纳，获得10
6秒前
充电宝的应助被郑qqqq采纳，获得10
6秒前
青藤之凉发布了新的文献求助30
6秒前
隐形曼青的应助被超帅的南霜采纳，获得30
6秒前
HongJiang发布了新的文献求助10
8秒前
le发布了新的文献求助10
8秒前
lenglin发布了新的文献求助10
8秒前
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
9秒前
烟花的应助被含蓄清炎采纳，获得10
9秒前
whandzxl发布了新的文献求助10
10秒前
jkwang完成签到，获得积分10
10秒前
12秒前
小尧完成签到，获得积分10
14秒前
wuludie的应助被Unlung采纳，获得10
15秒前
今后的应助被刘仁轨采纳，获得10
15秒前
little发布了新的文献求助10
15秒前
meng完成签到，获得积分10
16秒前
17秒前
18秒前
18秒前
19秒前
19秒前
36456657的应助被小白采纳，获得10
21秒前
粗犷的囧完成签到，获得积分10
21秒前
脑洞疼的应助被zdy采纳，获得10
22秒前
22秒前
23秒前
虞丹萱发布了新的文献求助50
23秒前
wzy4319完成签到，获得积分10
25秒前
25秒前
高分求助中
Continuum Thermodynamics and Material Modelling 3000
Production Logging: Theoretical and Interpretive Elements 2700
Mechanistic Modeling of Gas-Liquid Two-Phase Flow in Pipes 2500
Kelsen’s Legacy: Legal Normativity, International Law and Democracy 1000
Conference Record, IAS Annual Meeting 1977 610
Interest Rate Modeling. Volume 3: Products and Risk Management 600
Interest Rate Modeling. Volume 2: Term Structure Models 600
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 生物 医学 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 物理化学 催化作用 量子力学 光电子学 冶金
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3542895
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3120176
关于积分的说明 9341944
捐赠科研通 2818272
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1549447
邀请新用户注册赠送积分活动 722160
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 712978
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通