Multimode cavity type MPACVD reactor for large area diamond film deposition

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标题	Multimode cavity type MPACVD reactor for large area diamond film deposition 相关领域钻石材料科学化学气相沉积光学微波腔轴对称性微波食品加热沉积（地质）石英空腔壁光电子学复合材料物理生物古生物学量子力学沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.diamond.2018.01.011
DOI	10.1016/j.diamond.2018.01.011 doi
其它	期刊：Diamond and Related Materials 作者：A. L. Vikharev; А. М. Горбачев; M. A. Lobaev; D.B. Radishev 出版日期：2018-03-01
求助人	刘学在 2024-09-09 17:41:54 发布自广东，悬赏 10 积分
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