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 Polarity control of sputter-deposited AlN with high-temperature face-to-face annealing 用高温面对面退火控制溅射沉积AlN的极性
相关领域
材料科学
退火（玻璃）
极性（国际关系）
异质结
溅射
外延
光电子学
氮化物
半导体
图层（电子）
纳米技术
薄膜
复合材料
化学
生物化学
细胞
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Kanako Shojiki; Kenjiro Uesugi; Shiyu Xiao; Hideto Miyake 出版日期：2023-11-01 |
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