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UV-TiO2 photocatalysis-assisted chemical mechanical polishing 4H-SiC wafer
UV-TiO2光催化辅助化学机械抛光4H-SiC晶片
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期刊:Materials and Manufacturing Processes 作者:Zewei Yuan; Yan He; Xingwei Sun; Quan Wen 出版日期:2017-08-30 |
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