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 EFFECT OF NITROGEN ON THE RESIDUAL STRESS AND ADHESION OF DIAMOND-LIKE AMORPHOUS CARBON NITRIDE FILMS 氮对类金刚石非晶氮化碳薄膜残余应力和附着力的影响
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期刊：Acta Physica Sinica 作者：JU Jian-hua; Yiben Xia; Weili Zhang; Linjun Wang; Weimin Shi; et al 出版日期：2000-01-01 |
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