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标题
Study on the surface crystallization mechanism and inhibition method in the CMP process of aluminum alloy mirrors
铝合金镜面CMP工艺中表面晶化机理及抑制方法研究
相关领域
抛光 材料科学 结晶 表面粗糙度 铝 合金 金刚石车削 表面光洁度 化学机械平面化 白光干涉法 钻石 光学 冶金 复合材料 干涉测量 化学工程 工程类 物理
网址
https://doi.org/10.1364/ao.58.006091
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1364/ao.58.006091 doi
其它 期刊：Applied Optics
作者：Tao Zhao; Hao Hu; Xiaoqiang Peng; Chunyang Du; Chaoliang Guan; et al
出版日期：2019-07-29
求助人
圆圆 在 2024-12-24 14:59:25 发布自湖北，悬赏 10 积分
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