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 A High-Accuracy Ultrasonic Gas Flow Meter Based on Scandium-Doped Aluminum Nitride Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers 基于掺钪氮化铝压电微机械超声换能器的高精度超声气体流量计
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期刊：IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 作者：H Liu; Xiangyang Wang; Chongbin Liu; Yuzhe Lin; Lujiang Zhang; et al 出版日期：2024-01-01 |
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