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 Preparation of microcrystalline silicon seed-layers with defined structural properties 具有确定结构性能的微晶硅籽晶层的制备
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期刊：Thin Solid Films 作者：O. Vetterl; Markus Hülsbeck; Johannes Wolff; R. Carius; F. Finger 出版日期：2003-03-01 |
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