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标题
Analysis of Heterostructure Formation of Abnormally Oriented Grains in Sputter-Deposited AlScN Films and Its Impact on Bulk Acoustic Wave Devices
溅射沉积AlScN薄膜中异常取向晶粒异质结构形成及其对体声波器件的影响分析
相关领域
材料科学 溅射 异质结 溅射沉积 光电子学 薄膜 复合材料 纳米技术
网址
https://doi.org/10.1021/acsami.4c07539
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1021/acsami.4c07539 doi
其它 期刊：ACS Applied Materials & Interfaces
作者：Xiyu Gu; Yan Liu; Xiaoming Huang; Jiaqi Ding; Yuanhang Qu; et al
出版日期：2024-09-23
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Sean 在 2024-12-14 11:20:08 发布自河北，悬赏 10 积分
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