Global search algorithms in automated design of starting points for deep-UV lithography objective - 科研通

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标题	Global search algorithms in automated design of starting points for deep-UV lithography objective 深紫外光刻物镜起点自动设计中的全局搜索算法相关领域光学平版印刷术算法计算机科学物理
网址	https://doi.org/10.1364/ao.532057
DOI	10.1364/ao.532057 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Nenad Zoric; Yunfeng Nie; Simon Thibault; Radomir Prodanovic; Lijo Thomas 出版日期：2024-08-22
求助人	苏音在 2024-11-05 21:54:24 发布自江苏，悬赏 10 积分
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