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 High-Performance a-IGZO TFT Fabricated With Ultralow Thermal Budget via Microwave Annealing 微波退火制备超低热预算的高性能a-IGZO TFT
相关领域
薄膜晶体管
材料科学
退火（玻璃）
无定形固体
光电子学
微波食品加热
电介质
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化学
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计算机科学
图层（电子）
电信
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Tiantian Pi; Dong-Qi Xiao; Hui Yang; Gang He; Xiaohan Wu; et al 出版日期：2021-11-16 |
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