Fabrication of a Fabry-Pe/spl acute/rot cavity in a microfluidic channel using thermocompressive gold bonding of glass substrates - 科研通

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标题	Fabrication of a Fabry-Pe/spl acute/rot cavity in a microfluidic channel using thermocompressive gold bonding of glass substrates 利用玻璃衬底的热压金键合在微流体通道中制造Fabry-Pe/spl急性/腐烂腔
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/84/32077/01492427.pdf?ar...
DOI	10.1109/jmems.2005.845447 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者： Hua Shao; D. Kumar; S.A. Feld; K.L. Lear 出版日期：2005-08-10
求助人	外星人在 2025-02-17 08:31:31 发布自广西，悬赏 10 积分
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