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Thermal conductivity of PECVD silicon-rich silicon nitride films measured with a SiO2/SixNy bimaterial microbridge test structure
用SiO2/SixNy双材料微桥测试结构测量PECVD富硅氮化硅薄膜的热导率
相关领域
材料科学 热导率 氮化硅 硅 等离子体增强化学气相沉积 复合材料 氮化物 微电子机械系统 化学气相沉积 热导率测量 电导率 光电子学 纳米晶硅 晶体硅 化学 非晶硅 图层（电子） 物理化学
网址
http://www.cqvip.com/QK/94689X/201404/49485705.html
AI链接 cqvip.com
DOI
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其它 期刊：半导体学报：英文版
作者：韩建强; 李琰; 李森林; 李青
出版日期：2014-01-01
求助人
Xee 在 2025-01-07 14:59:47 发布自中国香港，悬赏 10 积分
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