| 标题 |
[高分]
 Multi-function optical characterization and inspection of MEMS components using stroboscopic coherence scanning interferometry 利用频闪相干扫描干涉法对MEMS元件进行多功能光学表征和检测
相关领域
微电子机械系统
干涉测量
光学
白光干涉法
振动
连贯性（哲学赌博策略）
频闪仪
带宽（计算）
声学
材料科学
计算机科学
物理
光电子学
电信
量子力学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Advanced Optical Technologies 作者：Abraham Mario Tapilouw; Liang-Chia Chen; Xuan-Loc Nguyen; Jinliang Chen 出版日期：2014-08-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
不配.
个性的紫菜
Cloud
薰硝壤
爱静静
都是
iNk
寻道图强
kento
ShowMaker
乐乐乐乐乐乐
浅尝离白
Yziii
shinysparrow
彭于彦祖
pcr163
Singularity
元谷雪
HEIKU
坚强亦丝
皖公网安备34019202002308
