Toughness Enhancement in TiN/Zr0.37Al0.63N1.09 Multilayer Films

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标题	Toughness Enhancement in TiN/Zr0.37Al0.63N1.09 Multilayer Films TiN/Zr0.37Al0.63N1 1.09多层膜的韧性增强相关领域下载锡计算机科学韧性万维网材料科学冶金
网址	https://doi.org/10.2139/ssrn.4773093
DOI	10.2139/ssrn.4773093 doi
其它	期刊：作者：Marcus Lorentzon; Michael Meindlhumer; Justinas Pališaitis; Grzegorz Greczyński; Jozef Kečkéš; et al 出版日期：2024-01-01
求助人	等等在 2024-05-17 16:45:56 发布自河南，悬赏 10 积分
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