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The effect of low energy helium implantation on the structural, vibrational, and piezoelectric properties of AlN thin films
低能量氦注入对AIN薄膜结构、振动和压电性能的影响
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期刊:Physica B Condensed Matter 作者:Vinit Sharma; F. Natali; J. Kennedy; Jérôme Leveneur; Holger Fiedler; et al 出版日期:2021-01-01 |
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