Controlling Residual Stress and Suppression of Anomalous Grains in Aluminum Scandium Nitride Films Grown Directly on Silicon

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标题	Controlling Residual Stress and Suppression of Anomalous Grains in Aluminum Scandium Nitride Films Grown Directly on Silicon 相关领域材料科学残余应力钪氮化硅氮化物压力（语言学）溅射硅分析化学（期刊）铝薄膜光电子学复合材料图层（电子）冶金纳米技术化学色谱法哲学语言学
网址	https://doi.org/10.1109/JMEMS.2022.3167430
DOI	10.1109/JMEMS.2022.3167430 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Rossiny Beaucejour; Volker Roebisch; Abhay Kochhar; Craig G. Moe; Michael David Hodge; Roy H. Olsson 出版日期：2022
求助人	VelesAlexei 在 2022-06-07 10:35:51 发布，悬赏 10 积分
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