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 Influence of the Annealing Temperature and Applied Electric Field on the Reliability of TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN Capacitors 相关领域
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期刊：ACS Applied Electronic Materials 作者：Roman R. Khakimov; Anna G. Chernikova; Yury Lebedinskii; Aleksandra A. Koroleva; Andrey M. Markeev 出版日期：2021 |
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