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标题
Influence of nitrogen concentration on electrical, mechanical, and structural properties of tantalum nitride thin films prepared via DC magnetron sputtering
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网址
https://doi.org/10.1007/s00339-022-05501-4
DOI
10.1007/s00339-022-05501-4 doi
其它 期刊：Applied Physics A
作者：Davoud Dastan; Ke Shan; Azadeh Jafari; Farzan Gity; Xi-Tao Yin; et al
出版日期：2022-04-16
求助人
丁又菡 在 2023-02-13 22:03:42 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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