Enhanced plasma generation in capacitively coupled plasma using a parallel inductor - 科研通

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标题	Enhanced plasma generation in capacitively coupled plasma using a parallel inductor 相关领域电感器等离子体电感电阻抗电容容性耦合等离子体电极电压化学共振（粒子物理）材料科学等离子体参数光电子学感应耦合等离子体原子物理学电气工程物理工程类物理化学量子力学
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6595/ac56c4
DOI	10.1088/1361-6595/ac56c4 doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Yeong-Min Lim; You He; Jaewon Lee; Ju-Ho Kim; Kyung-Hyun Kim; et al 出版日期：2022-02-18
求助人	柠檬不萌在 2023-01-10 10:32:48 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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