Simple Monitoring Method for RF Plasmas by the Insulated Pulse Probe Method

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标题	Simple Monitoring Method for RF Plasmas by the Insulated Pulse Probe Method 相关领域等离子体脉搏（音乐）材料科学无线电频率原子物理学物理光电子学
网址	http://stacks.iop.org/1347-4065/41/i=7R/a=4700/pdf
DOI	10.1143/jjap.41.4700 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Mikio Deguchi; Ryohei Itatani 出版日期：2002-10-02
求助人	琴楼在 2022-03-05 16:32:00 发布，悬赏 10 积分
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