| 标题 |
 Structure and Morphology of 4H-SiC Wafer Surfaces after H2-Etching 相关领域
蚀刻（微加工）
光电子学
图层（电子）
各向同性腐蚀
复合材料
反应离子刻蚀
化学工程
碳化硅
干法蚀刻
形态学（生物学）
硅
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期刊：Materials Science Forum 作者：S. Soubatch; Stephen E. Saddow; Shailaja P. Rao; W.Y. Lee; M. Konuma; Ulrich Starke 出版日期：2009-03-12 |
| 求助人 |
刘钢 在
2021-10-05 10:37:36 发布，悬赏 30 积分
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