Structure and Morphology of 4H-SiC Wafer Surfaces after H<sub>2</sub>-Etching

材料科学 X射线光电子能谱 薄脆饼 蚀刻(微加工) 退火(玻璃) 扫描电子显微镜 氧化物 低能电子衍射 化学气相沉积 分析化学(期刊) 基质(水族馆) 图层(电子) 各向同性腐蚀 复合材料 化学工程 衍射 纳米技术 电子衍射 光学 冶金 化学 工程类 地质学 物理 海洋学 色谱法
作者
S. Soubatch,Stephen E. Saddow,Shailaja P. Rao,W.Y. Lee,M. Konuma,Ulrich Starke
出处
期刊:Materials Science Forum 卷期号:483-485: 761-764 被引量:52
标识
DOI:10.4028/www.scientific.net/msf.483-485.761
摘要

Commercial on-axis wafers of 4H-SiC(0001) were etched in a standard reactor for chemical vapor deposition (CVD) using molecular hydrogen flux in order to improve the structure and morphology of the surface. The substrate temperature during etching was varied from 1400 to 1600°C. Characterization of the surface morphology was performed using optical and atomic force microscopy (AFM). Low-energy electron diffraction (LEED) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) were also used to examine the surface structure and chemical composition of the samples. The sample of best quality was obtained for an etching temperature of 1400°C. Its surface is ° × 30 ) 3 3 ( R reconstructed and covered by an ordered “silicate” layer. Increasing the substrate temperature during etching to 1500°C leads to enhanced step-bunching and the formation of macroterraces. At 1600°C distinct depressions appear on the surface, presumably from etching of structural defects such as screw dislocations. Subsequent annealing at 1000°C in ultra-high vacuum (UHV) removes the surface oxide and produces the ° × 30 ) 3 3 ( R surface phase of clean 4HSiC( 0001).
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
秋半梦完成签到,获得积分10
刚刚
1秒前
单小芫完成签到 ,获得积分10
2秒前
是玥玥啊发布了新的文献求助10
4秒前
二牛完成签到,获得积分10
19秒前
drsxtang发布了新的文献求助10
24秒前
drsxtang完成签到,获得积分10
41秒前
清新的冬日完成签到,获得积分10
44秒前
李健应助生动绫采纳,获得10
46秒前
57秒前
和平港湾完成签到,获得积分10
1分钟前
明理问柳完成签到,获得积分10
1分钟前
一白完成签到 ,获得积分10
1分钟前
00完成签到 ,获得积分10
1分钟前
loren313完成签到,获得积分0
1分钟前
1分钟前
多边棱发布了新的文献求助10
1分钟前
xuesensu完成签到 ,获得积分10
1分钟前
浚稚完成签到 ,获得积分10
1分钟前
nn完成签到,获得积分20
1分钟前
周小鱼完成签到,获得积分10
1分钟前
颜林林完成签到,获得积分10
1分钟前
Oliver完成签到 ,获得积分10
1分钟前
Jimmy_King完成签到 ,获得积分10
2分钟前
欢欢完成签到,获得积分10
2分钟前
高高的笑柳完成签到 ,获得积分10
2分钟前
迅速千愁完成签到 ,获得积分10
2分钟前
三脸茫然完成签到 ,获得积分10
2分钟前
煜琪完成签到 ,获得积分10
2分钟前
快乐随心完成签到 ,获得积分10
2分钟前
benbenpeng完成签到,获得积分10
2分钟前
笨笨完成签到 ,获得积分10
2分钟前
温暖完成签到 ,获得积分10
2分钟前
清颜完成签到 ,获得积分10
2分钟前
林好人完成签到,获得积分10
2分钟前
Shrimp完成签到 ,获得积分10
2分钟前
orange完成签到 ,获得积分10
3分钟前
又又完成签到,获得积分10
3分钟前
笨笨忘幽完成签到,获得积分10
3分钟前
沉沉完成签到 ,获得积分0
3分钟前
高分求助中
Continuum Thermodynamics and Material Modelling 2000
Neuromuscular and Electrodiagnostic Medicine Board Review 1000
こんなに痛いのにどうして「なんでもない」と医者にいわれてしまうのでしょうか 510
いちばんやさしい生化学 500
The First Nuclear Era: The Life and Times of a Technological Fixer 500
岡本唐貴自伝的回想画集 500
Atmosphere-ice-ocean interactions in the Antarctic 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3677767
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3231572
关于积分的说明 9798063
捐赠科研通 2942698
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1613452
邀请新用户注册赠送积分活动 761619
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 736995