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Laying the foundations of ultrafast stealth dicing of silicon with picosecond laser pulses at 2-μm wavelength
相关领域
材料科学
光电子学
皮秒
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光学
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期刊:2021 Conference on Lasers and Electro-Optics Europe & European Quantum Electronics Conference (CLEO/Europe-EQEC) 作者:Markus Blothe; Maxime Chambonneau; Tobias Heuermann; Martin Gebhardt; Jens Limpert; Stefan Nolte 出版日期:2021 |
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