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 High-sensitivity fiber optic Fabry–Perot ultrasonic sensor based on a grooved silicon diaphragm for partial discharge detection 基于开槽硅膜片的高灵敏度光纤法布里——珀罗超声传感器用于局部放电检测
相关领域
材料科学
法布里-珀罗干涉仪
超声波传感器
振膜（声学）
薄脆饼
光学
光纤
干涉测量
局部放电
光纤传感器
硅
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| DOI |
10.1364/ao.494459
doi
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| 其它 |
期刊：Applied Optics 作者：Lina Zhang; Yi Huang; Xiling Niu; Liangjie Wang; Chengyong Hu; et al 出版日期：2023-08-28 |
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