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 Signal correction by detection of scanning position in a white-light interferometer for exact surface profile measurement 精确测量表面轮廓的白光干涉仪扫描位置检测信号校正
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| DOI | |
| 其它 | 作者：Songjie Luo，Takamasa Suzuki，Osami Sasaki，Samuel Choi，Jixiong Pu |
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