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标题
CAT-CVD Process and its Application to Preparation of Si-Based Thin Films
CAT-CVD工艺及其在硅基薄膜制备中的应用
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1557/proc-557-67
DOI
10.1557/proc-557-67 doi
其它 期刊：MRS Proceedings
作者：Hideki Matsumura; Atsushi Masuda; Akira Izumi
出版日期：1999-01-01
求助人
张丹阳 在 2025-02-06 21:43:32 发布自陕西，悬赏 10 积分
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