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Wafer-Scale Performance Mapping of Magnetron-Sputtered Ternary Vanadium Tungsten Nitride for Microsupercapacitors
微型超级电容器用磁控溅射三元氮化钒钨的晶圆级性能图谱
相关领域
材料科学
钨
钒
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期刊:Chemistry of Materials 作者:Khac Huy Dinh; Kévin Robert; Joëlle Thuriot-Roukos; Marielle Huvé; Pardis Simon; et al 出版日期:2023-10-13 |
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