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 Investigation of Trenched and High Temperature Annealed 4H-SiC 沟槽和高温退火4H-SiC的研究
相关领域
沟槽
材料科学
X射线光电子能谱
MOSFET
碳化硅
干法蚀刻
蚀刻（微加工）
浅沟隔离
光电子学
晶体管
制作
氧化物
复合材料
电压
冶金
电气工程
化学工程
病理
工程类
替代医学
图层（电子）
医学
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期刊：Materials Science Forum 作者：Christian Tobias Banzhaf; Michael Grieb; Achim Trautmann; Anton J. Bauer; Lothar Frey 出版日期：2014-02-01 |
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