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标题
Methods to achieve ultra-high quality factor silicon nitride resonators
实现超高品质因数氮化硅谐振器的方法
相关领域
谐振器 材料科学 光电子学 包层（金属加工） Q系数 波导管 光子学 微加工 氮化硅 硅 电子工程 光学 制作 工程类 物理 病理 冶金 医学 替代医学
网址
https://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/5.0057881
AI链接 scitation.org scitation.org doaj.orgdoi.org
DOI
10.1063/5.0057881 doi
其它 期刊：APL Photonics
作者：Xingchen Ji; Samantha P. Roberts; Mateus Corato‐Zanarella; Michal Lipson
出版日期：2021-07-01
求助人
重要半兰 在 2024-12-27 20:42:25 发布自天津，悬赏 10 积分
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