Low surface damage laser processing of silicon by laser-induced plasma etching (LIPE)

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标题	Low surface damage laser processing of silicon by laser-induced plasma etching (LIPE) 激光诱导等离子体刻蚀硅的低表面损伤激光加工相关领域材料科学蚀刻（微加工）硅激光烧蚀激光器各向同性腐蚀 X射线光电子能谱等离子体拉曼光谱光电子学图层（电子）光学纳米技术化学工程量子力学物理工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.153712
DOI	10.1016/j.apsusc.2022.153712 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Robert Heinke; Martin Ehrhardt; Jens Bauer; Andriy Lotnyk; Pierre Lorenz; et al 出版日期：2022-05-18
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American Phytopathological Society (APS)

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