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 Fast source mask optimization adopting mask prediction and feedback method with similarity penalty 基于相似惩罚的掩码预测反馈方法的快速源掩码优化
相关领域
光学
计算机科学
相似性（几何）
惩罚法
数学优化
人工智能
物理
数学
图像（数学）
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| 其它 |
期刊：Applied Optics 作者：Weichen Huang; Yanqiu Li; Miao Yuan; Zhaoxuan Li; Yang He; et al 出版日期：2024-12-02 |
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