Fast source mask optimization adopting mask prediction and feedback method with similarity penalty

光学 计算机科学 相似性(几何) 惩罚法 数学优化 人工智能 物理 数学 图像(数学)
作者
Weichen Huang,Yanqiu Li,Miao Yuan,Zhaoxuan Li,Yang He,Zhen Li
出处
期刊:Applied Optics [The Optical Society]
标识
DOI:10.1364/ao.542256
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