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标题
HNA Wet Etching Optimization in Wafer Thinning of BSI Process
BST工艺圆片减薄中的HNA湿腐蚀优化
相关领域
稀释 蚀刻(微加工) 薄脆饼 过程(计算) 工艺优化 光电子学 材料科学 工艺工程 计算机科学 纳米技术 工程类 化学工程 生态学 生物 操作系统 图层(电子)
网址
DOI
10.1109/CSTIC52283.2021.9461419 doi
求助人
淡定的安梦 在 2024-11-18 13:54:36 发布自广东,悬赏 10 积分
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