Electrical and optical properties of indium tin oxide thin films deposited on unheated substrates by d.c. reactive sputtering

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标题	Electrical and optical properties of indium tin oxide thin films deposited on unheated substrates by d.c. reactive sputtering 直流反应溅镀在未加热基片上沉积的氧化铟锡薄膜的电气和光学性能相关领域溅射薄板电阻氧化铟锡材料科学薄膜透明导电膜退火（玻璃）铟锡电阻率和电导率溅射沉积氧化物光电子学沉积（地质）复合材料冶金纳米技术图层（电子）工程类古生物学电气工程生物沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/0040-6090(93)90737-a
DOI	10.1016/0040-6090(93)90737-a doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：T. Karasawa; Yutaka Miyata 出版日期：1993-01-01
求助人	欣慰的小甜瓜在 2025-03-21 11:30:51 发布自山东，悬赏 10 积分
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