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  Layer-Engineered Functional Multilayer Thin-Film Structures and Interfaces through Atomic and Molecular Layer Deposition 通过原子和分子层沉积的层工程功能多层薄膜结构和界面
相关领域
原子层沉积
微电子
材料科学
纳米技术
制作
薄膜
图层（电子）
沉积（地质）
限制
逐层
机械工程
医学
古生物学
替代医学
病理
沉积物
工程类
生物
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