An aluminum oxynitride film

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标题	An aluminum oxynitride film 氮化铝膜相关领域制作铝溅射氮化硅材料科学折射率薄膜高折射率聚合物光电子学纳米技术复合材料硅医学氮化硅替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1016/0040-6090(91)90339-y
DOI	10.1016/0040-6090(91)90339-y doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Wang Dehuang; Guo Liang 出版日期：1991-03-01
求助人	彩色的傲晴在 2024-08-17 23:42:07 发布自浙江，悬赏 10 积分
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