| 标题 |
Engineering of chemical and physical properties of low-k materials by different wavelength of UV light
不同波长紫外光对低钾材料化学和物理性质的工程化研究
相关领域
材料科学
多孔性
无定形固体
等离子体增强化学气相沉积
波长
紫外线
固化（化学）
辐照
椭圆偏振法
分析化学（期刊）
化学工程
化学气相沉积
复合材料
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化学
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物理
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期刊： 作者：P. Maršík; Adam Urbanowicz; Partick Verdonck; Karim Ferchichi; David De Roest; et al 出版日期：2009-01-01 |
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