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 Modeling, Simulation and Testing of Non-Linear Resonance Behavior in MEMS Torsional Mirrors With Mechanical-Electrostatic Coupling 机械——静电耦合MEMS扭转镜非线性共振特性的建模、仿真与测试
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期刊： 作者：Noa M. Rensing; Stuart Dodson; George G. Adams; P.M. Zavracky; R.W. McClelland; et al 出版日期：1999-11-14 |
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