Design, Fabrication, and Characterization of Aluminum Scandium Nitride-Based Thin Film Bulk Acoustic Wave Filter

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标题	Design, Fabrication, and Characterization of Aluminum Scandium Nitride-Based Thin Film Bulk Acoustic Wave Filter 相关领域谐振器材料科学条状物制作拓扑（电路）数学光电子学组合数学复合材料医学病理替代医学
网址	http://dx.doi.org/10.1109/JMEMS.2023.3263187
DOI	10.1109/JMEMS.2023.3263187 doi
求助人	john 在 2023-06-15 13:41:38 发布自江苏，悬赏 10 积分
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